グラスウール(ガラス繊維)です。通常のHEPAやULPAのフィルタ材は「ボロンシリケートガラス」というガラスを使用した繊維を使用しています。しかし半導体メーカーなどではボロン(ホウ素)による不純物の汚染が問題となっているため、代わりに「アルカリシリケートガラス」という、ボロンの含有量が少ないガラス繊維を使用しているフィルターもあります。