クリーンルームの清浄度を評価するためには通常パーティクルカウンターを使用します。この測定値を見ることで、クリーンルームが適切な清浄度に保たれているかどうかが分かります。

ところが肉眼では確認できず、しかもパーティクルカウンターでは測定できない微妙な大きさのゴミが製品の不良を引き起こすことがあります。それが「粗大粒子」です。

粗大粒子とは

粗大粒子とは10㎛~100㎛程度の粒子の事です。気体中に浮遊し続けずに、地上に落ちる特長があります。

クリーンルームに設置しているFFU(ファンフィルターユニット)のおかげで、外気から粗大粒子が取り込まれることはほとんどありません。その代わり、作業者の衣服やルーム内に持ち込むワークに付着しているものが部屋内に持ち込まれて発塵してしまいます。

クリーンルームの陽圧・換気機能は、1㎛程度の地面に落ちずに気体中に浮遊し続ける微粒子をコントロールすることはできますが、地上に落ちて堆積してしまう粗大粒子は換気機能だけで取り除くことが困難です。

粗大粒子はパーティクルカウンターでは測定できない?

また、クリーンルームの清浄度を評価するために使われるパーティクルカウンターでは粗大粒子を測定することができません。なぜなら一般的なパーティクルカウンターの測定範囲は最大で5㎛以下の粒子まで。大きい粒子は測定範囲から漏れてしまいます。

クリーンルームの清浄度の基準もISO規格であれば0.1~5㎛の粒子の数で判断します。パーティクルカウンターの測定値だけでクリーンルーム内の環境を判断してしまうと、清浄度の基準はクリアしているはずなのになぜか製品につくゴミが減らない…。という錯覚に陥ってしまう場合もあるので注意が必要です。

粗大粒子を除去するには

クリーンルームの換気機能で除去しづらい粗大粒子を除去するためには日々の清掃が有効です。

また、粒子がどこに堆積しやすいのかを見える化するために、光でゴミを可視化するクリーンルームライトや粗大粒子をカウントできるタイプのパーティクルカウンターなどを利用することもできます。

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